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潔凈工作臺法凈化空氣

更新時(shí)間:2015-11-03      點(diǎn)擊次數(shù):2408

  空氣經(jīng)過過濾的生產(chǎn)環(huán)境先被航空航天工業(yè)使用。即使一個(gè)其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤,因此,NASA (譯者注:美國航空航天中心)和其服務(wù)商們建造了帶有過濾天花板夾層和過濾墻體的車間。而且*了許多基本的污染控制理念,其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法。

  半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。 然而一個(gè)主要的問題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后,很難保持其固有的潔凈度。 早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾天花板夾層和墻體的方法演化為潔凈工作臺法。這個(gè)主要是把過濾器裝在單個(gè)工作臺上,并使用無脫落的物質(zhì)。 在工作臺以外,晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運(yùn)輸。

  在大型車間中按順序排列的工作臺(叫做工作罩)組成加工區(qū),使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過濾器是一種顆粒搜集過濾器(HEPA過濾器)。這些過濾器是由含許多小孔,并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成,由于高密度的小孔與大面積的過濾層,使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流,有利于工作臺的潔凈度,并且對于操作員而言,在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100 英寸。HEPA過濾器可達(dá)到99.99%或更高的過濾效率,并可用于三種凈化方法中。

  一般來說,HEPA過濾器裝于潔凈工作臺頂部。空氣由風(fēng)扇吸入先通過前置過濾器,再通過HEPA過濾器,并以均勻平行的方式流出,在工作臺表面改變方向,流出工作臺。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動方向,通常這種方式稱為空氣層流立式式(VLF)工作臺,它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺把HEPA過濾器裝于工作臺后部,這種方式被稱為空氣層流平行(HLF)式工作臺。

  顆粒搜集過濾器(HEPA)

  Dirty Air臟空氣

  Clean Air凈空氣

  空氣層流立式工作臺

  Blower鼓風(fēng)機(jī)

  HEPA Filter HEPA過濾器

  Prefilter前級過濾器

  Shield擋板

  Air Flow空氣流

  Work Surface工作臺面

  這兩種工作臺按兩種方法來保持晶圓清潔:先是工作臺內(nèi)的空氣凈化;其次,凈化過程在工作臺內(nèi)產(chǎn)生一點(diǎn)空氣正壓,正壓可防止由操作員與走廊產(chǎn)生的污染物進(jìn)入工作臺。

  使用化學(xué)溶液的工藝需要對VLF式工作臺進(jìn)行特殊設(shè)計(jì),這種工作臺必須接有空氣排風(fēng),以吸收化學(xué)溶液蒸汽,因?yàn)檎羝麜a(chǎn)生安全及污染的危險(xiǎn)。在這種設(shè)計(jì)下,必須平衡VLF與排風(fēng)中的空氣流,來維持工作臺的潔凈數(shù)。而且還要求晶片需存放在工作臺中相對較潔凈的前部。

  凈化工作臺的方法還可應(yīng)用于現(xiàn)代晶圓加工設(shè)備中。在每臺設(shè)備上安裝VLF或HLF式工作臺來保持晶圓在裝卸過程中潔凈。



   凈化設(shè)備有限公司位于浙江省紹興市上虞區(qū)道墟鎮(zhèn),,是華東地區(qū)凈化設(shè)備行業(yè)中的制造商之。可按ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)、GB50073-2001國家標(biāo)準(zhǔn)及國家GMP規(guī)范要求為微電子、生物醫(yī)藥、醫(yī)院手術(shù)室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導(dǎo)體及新材料應(yīng)用等行業(yè)的空氣凈化系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)、施工、檢測及技術(shù)服務(wù)。
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